电磁干扰，振动、嗓音环境改善-电子显微镜环境控制应用案例

电子显微镜环境控制应用案例-电磁干扰，振动、嗓音提供稳定环境支持

环境控制

SEM用于以超高放大倍数观察极小的特征尺寸，容易受到环境干扰的影响。 SEM厂商制定了仪器正常运行的最大可接受电磁干扰，振动和声音噪声标准。 这些标准包含在每个仪器相关的安装要求文件中。 SEM厂商在安装前通常需要对振动测量设备进行现场勘测，如果现场不符合规范，则客户需要签署豁免书，表明仪器可能无法达到最佳性能。为了获得准确的图像，电子束，样品和探测器之间必须具有很高的连贯性，这使得仪器容易受到环境振动的影响。 电子显微镜是相对大型的仪器，通常具有内置被动振动隔离机制。 结果是它们对高频振动相对不敏感，但是SEM仍然容易受到低频振动的影响，尤其是建筑物的振动。 因此，将SEM放置在建筑物较高楼层或地震振动级别明显的区域时，通常需要辅助隔振系统。 在这种情况下，建议使用主动振动控制系统。

由于成像技术利用了电磁力电子，因此显微镜对EMI也很敏感。 应注意不要将SEM放在靠近大量EMI来源的地方，例如电梯，移动车辆或HVAC机械。 当存在过多的EMI时，用户将需要在SEM周围构建一个大型EMI屏蔽层或安装EMI消除系统。

电子显微镜的高级解决方案

电子显微镜正在推动纳米级技术的发展。 将样本图像放大一百万X倍以上需要精确的数据质量和绝对的环境稳定性。

二十多年来，环境稳定性一直是Herzan的专长领域，为无数应用（尤其是电子显微镜）提供声学，振动和EMI隔离解决方案。Herzan希望与全球研究人员合作，促进数据采集发展。 Herzan的产品目录涵盖了电子显微镜适用的所有形式的环境隔离系统。

以下是这些解决方案的简要概述：

问题：振动噪音

解决方案：AVI系列

AVI系列是一款低调，模块化，主动隔振系统，能够在所有六个自由度上实现亚赫兹振动隔离。 AVI系列能够提供一致且可靠的亚赫兹振动隔离性能，是在环境中遭遇低频振动噪声的所有电子显微镜的理想解决方案。

问题：EMI噪音

解决方案：Spicer系统

Spicer磁场消除系统可为高分辨率电子显微镜提供经济高效，免维护的环境磁场屏蔽。 Spicer系统为交流和直流电场提供了卓越的消除效果，可在较宽的频率范围内显着降低EMI。

问题：声学噪音

解决方案：模块化/面板式隔音箱

Herzan精心阐述了每个电子显微镜隔音箱的设计，以代表每种应用的具体需求。 结合每种实验室环境特有的可访问性和形状适应性，Herzan的模块化和面板式隔音箱为用户提供物超所值的最佳解决方案。

其他解决方案：

•现场调查分析设备

•电子显微镜起重设备

•假底平台

•AVI系列的低频隔振升级（LFS系统）

SEM图像对比图：

发展历史：

第一台扫描电子显微镜（SEM）于1935年起源于Max Knoll。该设计在接下来的几年中由Manfred von Ardenne进一步开发。 尽管有这些早期的贡献，查尔斯·奥特利教授还是公认为扫描电子显微镜之父。 在1950年代和1960年代，剑桥大学的Oatley教授开发并完善了这项技术，使其成为可商业化的仪器。

SEM在色谱柱的顶部装有电子枪，该电子枪以热电子方式产生电子束。 当该光束沿色谱柱向下传播时，线圈将作为透镜进行调节，这些透镜会聚焦光束并使光束在真空室中的样品上形成光栅。 当电子束扫描样品时，二次电子从样品中发射出来。 腔室内的探测器收集这些电子以产生样品图像。

与光学显微镜不同，SEM不受可见光衍射极限的限制。 这使研究人员能够以数十万倍的倍率成像。 该技术还保持了极好的景深，使用户可以清楚地分辨出样品的表面特征。

除了主要优点外，扫描电子显微镜还被证明是一种通用平台，可增加简单成像以外的功能。 可以用场发射枪（FEG）替代或补充热电子枪，这样可以大幅提高SEM的空间分辨率。 SEM可以配备聚焦离子束（FIB）功能，从而进行离子束研磨和沉积。 能量色散X射线光谱仪（EDS或EDX）允许用户使用电子束撞击样品时产生的X射线分析样品的化学成分。 通过在腔室添加探针，用户可以分析样品的导电率。 SEM平台也可以装配用于光刻和微加工应用。

典型应用：

•数据存储

•能源研究

•故障分析

•法医取证

•材料科学

•医疗器械

•采矿与地质学

•药物研究

•半导体研究