电子显微镜测试环境优化解决方案

问题：振动
解决方案：Herz AVI系列 主动隔振模块
AVI系列是一个偏平化，模块化，主动隔振系统，能够实现所有六个自由度的低频隔振。AVI系列具有一致可靠的亚赫兹隔振性能，是所有电子显微镜在环境中遭遇低频振动噪声的完美解决方案。
问题：电磁干扰
解决方案：Spicer Consulting主动消磁
Spicer磁场消除系统为高分辨率电子显微镜提供经济、免维护、环保的磁场屏蔽。Spicer系统为交流和直流电场提供卓越的消除效果，在较宽的频率范围内显著降低电磁干扰。
问题：噪音
解决方案：Herzan  隔音箱
Herzan仔细阐述了每个电子显微镜隔音箱的设计，以代表每个应用的具体需求。Herzan的模块化和镶板隔音外壳结合了每个实验室环境特有的可接近性和外形因素，提供了一个卓越的解决方案，具有巨大的价值。

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主动隔振模块\主动消磁\隔音箱
消磁器-消磁罩-消磁装置-消磁系统SC22
消磁器-消磁罩-消磁装置-消磁系统SC22

消磁器-消磁罩-消磁装置-消磁系统SC22高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。SC22系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。

电镜消磁-STM消磁-SEM消磁-磁场稳定控制系统SC24
电镜消磁-STM消磁-SEM消磁-磁场稳定控制系统SC24

SC24主动消磁系统主要是由磁场稳定控制系统、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产相对的磁场以改善。

消磁器-主动消磁器-主动消磁器SC26
消磁器-主动消磁器-主动消磁器SC26

SC26是第四代磁场抵消系统，被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场，通常在9kHz。